マイクロ波プラズマ処理

前のページへ戻る このカテゴリーのトップへ 次のページへ進む

(5) その他

前記以外に食器類、筆記具(使い捨て水性ペン)、電気機器部品などの親水性向上にも使用されている。

尚、プラスチック類の表面処理以外では、実験用核融合炉の炉内壁洗浄(水素プラズマにより壁面の酸化物を還元作用によるドライリーニング)、高密度イオン源や紫外線発生装置(超短波・長紫外線による純水殺菌や反応用)、Siウェファー表面への超硬薄膜(人工ダイヤモンド)の生成など特殊用途もあり多方面に応用されている。

20.8 留意点

@ 酸素と窒素の混合ガスを利用する場合

被処理物に水分が付着していると活性化された「O2+N2」混合ガスと気化水分(H2O)が化学反応を起し硝酸(HNO3)が生成されることがある。油回転式ポンプを利用した場合、油が急速に劣化するので注意が必要で、対策は被処理物の付着水分の乾燥処理となる。

A 被処理物に水分が付着していると

減圧時水が気化した蒸気の容積分、真空ポンプの排気量が多くなり、その分排気時間が長くなる。

対策は@項と同じく被処理物の乾燥処理が必要となる。

B 酸素プラズマによる鉄材の腐食

プラズマ処理室及び室内構造部材に鉄材などを利用すると活性化された酸素プラズマにより激しく酸化され、処理室内に錆が散乱する。酸素プラズマを利用する場合は、処理室及び構造部品ともSUS304,SUS316系の耐食性のある材料を利用する必要がある。

C 金属製のプラズマ導入管は利用不可

プラズマ発生部〜真空容器内部シャワーまでのプラズマ導入管は、プラズマが失活するため金属製は使用不可、石英やテフロン製を利用する。但し、どうしても金属製を使用したい場合は、プラズマと接触する面を全てテフロンコーティングすれば利用可能である。

前のページへ戻る このカテゴリーのトップへ 次のページへ進む