マイクロ波プラズマ処理 |
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20.1 プラズマとは…？ 20.2 マイクロ波によるプラズマの生成 20.3 マイクロ波プラズマ処理装置の概20.4 マイクロ波プラズマ処理の特徴 
20.5 その他の表面改質方法との比較 20.6 プラズマの処理効果20.7 マイクロ波プラズマの応用例 20.8 留意点20.5 その他の表面改質方法との比較
従来の表面改質方法は湿式、フレーム(火炎)、紫外線方式などがあり、表20.5.1にそれらとの比較を示す。
表20.5.1 各種表面改質方法の比較
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