マイクロ波プラズマ処理

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20.5 その他の表面改質方法との比較

従来の表面改質方法は湿式、フレーム(火炎)、紫外線方式などがあり、表20.5.1にそれらとの比較を示す。

表20.5.1 各種表面改質方法の比較
表20.5.1 各種表面改質方法の比較
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