電磁波と電波
電波とマイクロ波とISMバンド
マイクロ波の性質
電磁波加熱
誘導加熱
マイクロ波加熱
マイクロ波加熱装置の基本構成
マイクロ波管
マイクロ波発生装置
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各種加熱炉の詳細
制御系
マイクロ波加熱技術KnowHow
マイクロ波加熱関係測定技術
誘電加熱装置
マイクロ波加熱装置の試験・検査
マイクロ波加熱の応用例
マイクロ波プラズマ処理
所要マイクロ波電力の算出法
所要マイクロ波加熱装置の具体化検討
マイクロ波の安全性・注意事項について
装置の定期点検・マグネトロンの保管
装置の保証
安全基準・電波防護指針・使用許可申請
規格、その他参考資料
参考文献
索引
マイクロ波プラズマ処理
20.1 プラズマとは…?
20.2 マイクロ波によるプラズマの生成
20.3 マイクロ波プラズマ処理装置の概
20.4 マイクロ波プラズマ処理の特徴
20.5 その他の表面改質方法との比較
20.6 プラズマの処理効果
20.7 マイクロ波プラズマの応用例
20.8 留意点
20.5 その他の表面改質方法との比較
従来の表面改質方法は湿式、フレーム(火炎)、紫外線方式などがあり、表20.5.1にそれらとの比較を示す。
表20.5.1 各種表面改質方法の比較