マイクロ波プラズマ処理

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尚、マイクロ波放電であるこの方式を無極放電と称しており、電極材料による汚染が無いため、純度の高いプラズマが得られ、電極の寿命を云々する必要も無い。高周波放電は、先に記したように高周波とプラズマが共存するため、被処理物に熱的影響を与えることがあり、半導体などのエッチング処理には障害となることがある。

表20.2.1 は高周波プラズマとマイクロ波プラズマの特徴・違いを比較・纏めたものである。

表20.2.1 高周波プラズマとマイクロ波プラズマの比較
表20.2.1 高周波プラズマとマイクロ波プラズマの比較
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