誘電加熱装置

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(3) ロ−ラ電極

円筒状の被加熱物を平行平板電極で高周波加熱する場合、被加熱物外周部への電気力線が弱くなり、均一加熱が十分できないことがある。
均一加熱をより向上させるため図17.3.2 のように二本の円筒形電極上に円筒状被加熱物を載せ、二本の電極を回転させると被加熱物断面を通過する電気力線が均一となり、ほぼ均一に加熱することができる。
材料をタブレット状(円筒状)に加工可能な被加熱物の場合有効と言える。高品質を要求される半導体、ICなどの樹脂モ−ルデイング用予熱などに使用されている。

図17.3.2 ローラ電極
図17.3.2 ローラ電極

(4) 移動式電極

大きな薄板などを加熱する場合、被加熱物を電極間に挟んで固定したままでは、時間の経過とともに被加熱物の電気的定数(誘電率、導線率、透磁率など)が変動するため電極間のインピ−ダンスが変化し、電源側と負荷側のインピ−ダンス整合がずれてしまい、電力損失が大きくなったり、不均一加熱の原因となったりする。
図17.3.3 は、被加熱物を所定方向に搬送させながら電極の間を通過させ加熱する移動式電極を示している。いずれも搬送される被加熱物が加熱・昇温、水分乾燥とともに電気定数が変化することを考慮し、全体から見た電極間インピ−ダンスがほぼ一定になるようにしたもので、加熱がほぼ均一となり、効率が良いので大形薄物の被加熱物の加熱・乾燥に適している。

図17.3.3 移動式電極
図17.3.3 移動式電極

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