マイクロ波発生装置

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9.1.4 陽極電流の波形

マグネトロンには連続波マグネトロンとパルス・マグネトロンとがある。前者は、完全な直流か、或いは脈流のような連続的な高電圧を陽極電圧として印加し発振動作させるもので、主に加熱用として利用する。

これらの印加高電圧(陽極電圧Eb)に対する陽極電流(Ib)の関係は図9.1.9 の通りである。

(a) はマグネトロンに直流或いは直流に近い陽極電圧(Eb)を印加した場合の陽極電流(Ib)波形で、一般的に低リップル発振機と言われているものである。先に記述したようにスイッチング電源を利用したものが多く高価でもあり加熱処理には利用せず、半導体のプラズマ処理装置などに多用されている。

(b) は交流のEbを印加した場合のIb波形で、Eb波形の時間幅に対しIb波形の時間幅が小さいのはマグネトロンのカット・オフ現象の現れであり、Ebがある程度高くならないと(カットオフ電圧。第二部のマグネトロン部に記述)陽極電流が流れないからである。尚、マイクロ波エネルギ−は陽極電流が流れている時のみに発生しており、この回路の場合、厳密に言えば間欠発振していることになるもののパルス発振とは言わない。

(c) は単相両波整流・非平滑のEbを印加した場合のIb波形で、(b)の場合の電源電圧1サイクル中の片側のみを利用しているのに対して、これは両方を利用していることになる。


図9.1.9 陽極電圧(Eb)と陽極電流(Ib)の関係

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